超純水設備技術(shù)應用 成為芯片制造關(guān)鍵一環(huán)
集成電路又稱(chēng)芯片,是一種微型電子器件,是把電路(包括半導體裝置、元件)小型化、并制造在半導體晶圓表面上形成的具有所需電路功能的微型結構。在半導體行業(yè)中對離子的污染非常敏感,超過(guò)80%的制作工序都需要用到超純水,對于不同級別的生產(chǎn)線(xiàn)而言,對超純水的質(zhì)量要求也不盡相同。
傳統超純水制備工藝通常采用離子交換樹(shù)脂進(jìn)行,此工藝需要進(jìn)行樹(shù)脂再生,既耗費物力又耗費人工。針對傳統工藝中的不足,超純水設備通過(guò)雙級反滲透系統+EDI模塊的處理工藝,嚴格執行國家環(huán)保政策,可確保處理后的水穩定達標。
其技術(shù)特點(diǎn)如下:
1、設計工藝優(yōu)勢:設備在設計時(shí)會(huì )進(jìn)行余量設計,可以保證設備在2年后仍可滿(mǎn)足使用需求,有效保證了設備長(cháng)久穩定的運行。
2、電氣控制優(yōu)勢:設備實(shí)現全自動(dòng)運行,具有一鍵開(kāi)啟功能,能真正實(shí)現無(wú)人值守,減少了人工成本投入。
3、數據監測優(yōu)勢:儀器儀表完善,在線(xiàn)顯示運行數據,讀取方便、及時(shí)、準確,一目了然,隨時(shí)了解產(chǎn)水質(zhì)量。
4、環(huán)保優(yōu)勢:設備無(wú)任何酸堿等造成環(huán)境衛生的廢物產(chǎn)生,安全環(huán)保。
5、原材料選擇優(yōu)勢:選用的原材料品牌優(yōu)于常規品牌,核心材料原裝進(jìn)口。
超純水設備配備濃水置換專(zhuān)業(yè)技術(shù),防止膜系統受到微生物污染。通過(guò)完善的技術(shù),提高系統回收率,降低能耗和運行成本,除可應用在芯片行業(yè)外,在電力、造紙、日化等領(lǐng)域都有著(zhù)廣泛的應用。